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產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION
MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。
便攜式傅里葉紅外氣體分析儀廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。 MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護(hù)。
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